切入半導體製程 打造全世界解析度最好的反射式X光量測技術
奈視科技(NanoSeeX)於2023年5月26日循新創專章成立,為工研院量測中心衍生新創公司,專攻半導體前段先進製程X光量測設備研發。除著AI席捲全球,更強勁的運算需要半導體更先進的製程,同時為確保晶片良率和性能,檢測技術也必須不斷進步。在經濟部產業技術司的支持下,奈視科技打造全世界解析度最好的反射式X光(XRCD)量測技術,該專利X光技術能穿透多層次堆疊電晶體結構,以原子級解析度監控關鍵尺寸,靈敏度高、解析度高,並能將量測時間縮短60%以上,是目前全球解析度最好的非破壞性線上檢測機台,幫助晶圓代工廠商突破量測限制,提升產品的良率與品質。
由於目前半導體前段製程量測設備主要仍以歐美廠商為主,隨著製程從3奈米進入2奈米甚至1奈米,搶先掌握先進技術愈來愈重要,奈視科技團隊長期以來在工研院量測中心已有一定研發能量,成立之後也憑藉優異的軟硬體整合方案,計畫在今年將這項X光量測技術導入晶圓產線測試並力拚盡快商業化,以期帶動國內半導體高階量測設備技術發展。
除了半導體代工廠之外,奈視科技的目標市場也擴及到光罩廠或記憶體廠,也已獲得致茂電子投資。此外也在2024年度的全球百大科技研發獎(R&D 100 Awards)以線上X光關鍵尺寸量測系統,在R&D 100 Awards半導體量測領域獲獎。