切入半導體製程 打造全世界解析度最好的反射式X光量測技術

奈視科技（NanoSeeX）於2023年5月26日循新創專章成立，為工研院量測中心衍生新創公司，專攻半導體前段先進製程X光量測設備研發。除著AI席捲全球，更強勁的運算需要半導體更先進的製程，同時為確保晶片良率和性能，檢測技術也必須不斷進步。在經濟部產業技術司的支持下，奈視科技打造全世界解析度最好的反射式X光（XRCD）量測技術，該專利X光技術能穿透多層次堆疊電晶體結構，以原子級解析度監控關鍵尺寸，靈敏度高、解析度高，並能將量測時間縮短60%以上，是目前全球解析度最好的非破壞性線上檢測機台，幫助晶圓代工廠商突破量測限制，提升產品的良率與品質。

由於目前半導體前段製程量測設備主要仍以歐美廠商為主，隨著製程從3奈米進入2奈米甚至1奈米，搶先掌握先進技術愈來愈重要，奈視科技團隊長期以來在工研院量測中心已有一定研發能量，成立之後也憑藉優異的軟硬體整合方案，計畫在今年將這項X光量測技術導入晶圓產線測試並力拚盡快商業化，以期帶動國內半導體高階量測設備技術發展。

除了半導體代工廠之外，奈視科技的目標市場也擴及到光罩廠或記憶體廠，也已獲得致茂電子投資。此外也在2024年度的全球百大科技研發獎（R&D 100 Awards）以線上Ｘ光關鍵尺寸量測系統，在R&D 100 Awards半導體量測領域獲獎。